ເບິ່ງ: 0 ຜູ້ຂຽນ: ບັນນາທິການດັດແກ້ເວັບໄຊໄດ້ເຜີຍແຜ່ເວລາ: 2025-05-21 ຕົ້ນກໍາເນີດ: ສະຖານທີ່
ທ່ານເຄີຍສົງໄສບໍ່ໄດ້ວ່າຊິບນ້ອຍໆຢູ່ໃນສະມາດໂຟນຫລືລົດຂອງທ່ານຢູ່ນໍາໂລກໂດຍບໍ່ຕ້ອງລົ້ມເຫລວບໍ? ຄໍາຕອບແມ່ນຢູ່ໃນ ສະ ພາບແວດລ້ອມ semiconductor -highter ທີ່ຄວບຄຸມບ່ອນທີ່ແມ້ກະທັ້ງຂີ້ຝຸ່ນດຽວສາມາດທໍາລາຍ microchip ທັງຫມົດ. ສະຖານທີ່ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນວິລະຊົນທີ່ບໍ່ດີຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ, ເຮັດໃຫ້ທຸກສິ່ງທຸກຢ່າງຈາກອຸປະກອນ AI-driven ຫຼ້າສຸດຂອງອຸປະກອນການແພດທີ່ມີຊີວິດ. ແຕ່ສິ່ງທີ່ແນ່ນອນເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ແລະພວກເຂົາຈະເຮັດວຽກໄດ້ແນວໃດ? ໃຫ້ຂອງເຂົ້າໃນ.
semiconducidors ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມັກທີ່ສຸດແມ່ນຊິລິໂຄນ - ທີ່ເຮັດດ້ວຍໄຟຟ້າໃຊ້ ບາງສ່ວນ , ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນກະດູກສັນຫຼັງຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ. ຄິດວ່າພວກເຂົາເປັນຂົວຂ້າມລະຫວ່າງ insulators (ເຊັ່ນຢາງ) ແລະ contuctors) ແລະ copper (ເຊັ່ນທອງແດງ). ຜູ້ຜະລິດນ້ໍາຊິລິໂຄນທີ່ບໍລິສຸດປ່ຽນເປັນເຄື່ອງເປົ່າບາງໆ, ເຊິ່ງເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນພື້ນຖານສໍາລັບວົງຈອນທີ່ປະສົມປະສານ (ICS) ຫຼື microchips. ຊິບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສະຫມອງທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທຸກລຸ້ນ, ຈາກຜູ້ສ້າງກາເຟຂອງທ່ານໃຫ້ກັບເຮືອບິນສູ້ຮົບ.
ນີ້ແມ່ນການຈັບໄດ້: semiconducidors ແມ່ນ ມີຄວາມອ່ອນແອທີ່ບໍ່ຫນ້າເຊື່ອ . ເຖິງແມ່ນວ່າສ່ວນດຽວຂອງຝຸ່ນ (ປະມານ 50 ໄມຄອນໃນຂະຫນາດ 50 ໄມລ໌) ສາມາດທໍາລາຍຊັ້ນ nanoscale ໃນໄລຍະການຜະລິດຊິບ. ສໍາລັບສະພາບການ, ຜົມຂອງມະນຸດມີຄວາມຫນາປະມານ 75 ໄມໂຄນ - ດັ່ງນັ້ນພວກເຮົາກໍາລັງເວົ້າກ່ຽວກັບ ໄພຂົ່ມຂູ່ຂອງຜູ້ຂຸດ ຄົ້ນບໍ່ແຮ່ .
• ຂີ້ຝຸ່ນແລະອະນຸພາກ : ສາມາດເຮັດໃຫ້ວົງຈອນສັ້ນຫຼືວົງຈອນເປີດໃນວົງຈອນທີ່ລະອຽດອ່ອນ.
• ໄຟຟ້າສະຖິດ : ການລົງຂາວ (ESD) ຢ່າງກະທັນຫັນສາມາດຈືນໃຫ້ສາມາດຈືນສ່ວນປະກອບທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ເຮັດໃຫ້ຊິບບໍ່ມີປະໂຫຍດ.
• ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ : ຄວາມຊຸ່ມຊື້ນເກີນໄປເຮັດໃຫ້ການກັດກ່ອນ; ພຽງເລັກນ້ອຍກໍ່ສ້າງສະຖິດ.
• ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ : ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງຂອງການປ່ຽນແປງ 1 ° C ສາມາດເຮັດໃຫ້ WAFRS ຫຼືປ່ຽນແປງປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ.
ໃນສັ້ນ, ການປົນເປື້ອນໃດໆສາມາດນໍາໄປສູ່ຊິບທີ່ບົກຜ່ອງ, ວັດສະດຸທີ່ເສຍ, ແລະມີຄວາມຊັກຊ້າໃນການຜະລິດ. ນັ້ນແມ່ນບ່ອນທີ່ມີຄວາມສະອາດຢູ່ໃນ.
ເຄື່ອງ ເຮັດຄວາມສະດວກສະບາຍ semiconductor ແມ່ນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຜະນຶກທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງທີ່ປົນເປື້ອນແລະຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ແນ່ນອນ. ບໍ່ຄືກັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນຂອງ 'ສະອາດ ' ທີ່ສະອາດ, ສະຖານທີ່ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຖືກອອກແບບເພື່ອຕອບສະຫນອງ ມາດຕະຖານ ທີ່ສຸດ :
• ຈຸດປະສົງ :
◦ຫຼຸດຜ່ອນອະນຸພາກອາກາດຫນ້ອຍທີ່ສຸດ (ຂີ້ຝຸ່ນ, ຈຸລິນຊີ, ຢອດນ້ໍາ Aerosol).
◦ຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ເຂັ້ມງວດ (20-24 ° C 000 1 ° C) ແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ (40-60% rh ± 5%).
◦ປ້ອງກັນສະຖຽນລະພາບແລະການແຊກຟູໄຟຟ້າ.
◦ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນເຊັ່ນ: ການຖ່າຍຮູບ, etching, etching, ແລະການຝາກເງິນ.
ໃນຄໍາສັບຕ່າງໆອື່ນໆ, ມັນແມ່ນຟອງບ່ອນທີ່ທຸກໂມເລກຸນຂອງອາກາດ, ທຸກໆລະດັບຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະທຸກໆຄວາມສາມາດທີ່ຫມັ້ນຄົງແມ່ນຖືກຕິດຕາມແລະຄຸ້ມຄອງ.
ຫົວໃຈຂອງຫ້ອງສະອາດແມ່ນລະບົບການກັ່ນຕອງທາງອາກາດຂອງມັນ. ນີ້ແມ່ນວິທີທີ່ມັນເຮັດໃຫ້ Air Pallistine:
• HEPA (ມີປະສິດທິພາບສູງສະບັບອາກາດ) : ເອົາອອກ 99,97% ຂອງອະນຸພາກ≥0.3 micros.3 micrens.
• Ulpa (ອາກາດ Penetration ຕ່ໍາທີ່ສຸດ) : ກ້າວຕໍ່ໄປ, ໃສ່ກັບດັກ 99,995% ຂອງອະນຸພາກ≥0.1. ຄວາມຈິງຄວາມມ່ວນ : ຫ້ອງການມາດຕະຖານມີສ່ວນປະມານ 35 ລ້ານສ່ວນຕໍ່ແມັດແມັດ (0.5 ໄມໂຄສະນາຫຼືໃຫຍ່ກວ່າ). ເຄື່ອງທໍາຄວາມສະອາດ 5 ອັນ ພຽງແຕ່ 3,520 ອະນຸພາກ.
• ການໄຫລວຽນຂອງຖະຫນົນ Liminar : ການເຄື່ອນຍ້າຍທາງອາກາດໃນຊັ້ນຂະຫນານ, ຊັ້ນເປັນເອກະພາບ (ຄືກັບສາຍພານລໍາລຽງ), ຫຼຸດຜ່ອນການກໍ່ສ້າງຄວາມວຸ້ນວາຍແລະເຄື່ອງປະດັບ. ໃຊ້ໃນພື້ນທີ່ທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ Wafer Handling.
• ການໄຫລວຽນຂອງ Turbulent : Air MOTRA ຫມູນວຽນຫຼາຍ, ເຫມາະສົມກັບເຂດທີ່ລະອຽດອ່ອນ (ຕົວຢ່າງ: ການຫຸ້ມຫໍ່).
ອົງການຈັດຕັ້ງສາກົນເພື່ອການຈັດງານມາດຕະຖານ (ISO) ຈັດປະເພດຄວາມສະອາດໂດຍອີງໃສ່ອະນຸພາກ. ສໍາລັບ semiconductors:
• ISO 4-6 : ໃຊ້ສໍາລັບການຜະລິດ (ຕົວຢ່າງ, ຮູບຮ່າງ, etching).
• ISO 7-8 : ເຫມາະສໍາລັບການທົດສອບ, ການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະການຊຸມນຸມ.
iso ຫ້ອງຮຽນ |
ອະນຸພາກ≤0.5μmຕໍ່m³ |
ການນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນ semiconductors |
ISO 4 |
352 |
ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ຕົວຢ່າງ: lithography EUV) |
ISO 5 |
3,520 |
ການປຸງແຕ່ງ Wafer |
iso 6 |
35,200 |
ການຝາກເງິນ / Etching |
ISO 7 |
352,000 |
ການທົດລອງ |
ເປັນຫຍັງ 20 -24 ° C? ການເຫນັງຕີງນ້ອຍໆສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຮ້ອນຫຼືການຫົດຕົວຂອງອຸປະກອນແລະການຊັກຊວນ, ນໍາໄປສູ່ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມສອດຄ່ອງໃນຮູບແບບຊິບ. ລະບົບ HVAC ແບບພິເສດໃຊ້ນ້ໍາທີ່ປັ່ນປ່ວນຫຼື glycol ເພື່ອຮັກສາສະຖຽນລະພາບ.
ແຫ້ງເກີນ = ສ້າງຕົວສະຖິດ. ຊຸ່ມເກີນໄປ = ແມ່ພິມຫຼືການກັດກ່ອນ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດໃຊ້ Humidifiers / Dehumidifiers ທີ່ຈະຕີຈຸດທີ່ຫວານ 40-60%, ມັກຈະມີເຊັນເຊີໃນເວລາຈິງທີ່ມີການໃຫ້ອາຫານລະບົບຄວບຄຸມສູນກາງ.
Static ແມ່ນສັດຕູສາທາລະນະອັນດັບ 1 ໃນຄວາມສະອາດ. ວິທີແກ້ໄຂປະກອບມີ:
• ວັດສະດຸຕ້ານຄວາມຄົງທີ່ : ວັດສະດຸທີ່ດໍາເນີນການ (ຕົວຢ່າງ:, ກະເບື້ອງ infused ທອງແດງ) ທີ່ສະຖິດຢູ່ໃນພື້ນດິນ.
• Ionizers : ປ່ອຍດອກເຜິ້ງເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄ່າບໍລິການທີ່ຫມັ້ນຄົງຢູ່ເທິງຫນ້າດິນແລະອາກາດ.
• ESD- ເຄື່ອງນຸ່ງທີ່ປອດໄພ : Coverolls, ຖົງມື, ຖົງມືແລະຜ້າຄຸມທີ່ເຮັດຈາກຜ້າທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ.
ມະນຸດໄດ້ຫລັ່ງໄຫລຂອງຈຸລັງຜິວຫນັງ, ຜົມ, ແລະນໍ້າມັນ - ທັງຫມົດທີ່ມີທ່າແຮງ. ກ່ອນທີ່ຈະເຂົ້າໄປ, ຕ້ອງ:
•ໃສ່ ຊຸດ bunny bunny ທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍຮ່າງກາຍ (ເປັນຫມັນ, ບໍ່ແມ່ນການຫົດນ້ໍາໃນຫ້ອງນອນ).
•ໃຊ້ຜ້າປູທີ່ຫນຽວເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອຈາກເກີບ.
•ປະຕິບັດຕາມນະໂຍບາຍຂອງ 'ບໍ່ສໍາພັດ ' (ຕົວຢ່າງ:, ໃຊ້ tweezers ແທນນິ້ວມື).
• ພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ແມ່ນການຫົດນ້ໍາ : ຝາແລະພື້ນແມ່ນເຮັດດ້ວຍເຫຼັກສະແຕນເລດ, epoxy, ຫຼືວັດສະດຸ vinyl ທີ່ບໍ່ flake ຫຼືດູດເອົາອະນຸພາກ.
• ອຸປະກອນທີ່ສະອາດ : ເຄື່ອງມືແລະເຄື່ອງຈັກທັງຫມົດຖືກລ້າງດ້ວຍນ້ໍາທີ່ປອດໄພ (UP) ແລະເອທານອນກ່ອນທີ່ຈະເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງສະອາດ.
ຂະບວນການທີ່ແນ່ນອນ (ຕົວຢ່າງ: it pillasma) ໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ເປັນພິດເຊັ່ນ: ຊູນຟູຣິກ Hexafluoride (SF6). ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດໄດ້ມີລະບົບສະຫາຍທີ່ອຸທິດຕົນໃນການກໍາຈັດຄວັນແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ມີອຸປະກອນຈາກອຸປະກອນ.
ມາດຕະຖານ ISO 146444-1 ມາດຕະຖານແມ່ນມາດຕະຖານຄໍາສໍາລັບການຈັດປະເພດຫ້ອງສະອາດ. ນີ້ແມ່ນວິທີທີ່ມັນແຕກແຍກສໍາລັບ semiconductors:
• ISO 3-5 : ສະຫງວນສໍາລັບວຽກທີ່ຊັດເຈນທີ່ຄ້າຍຄື EUV (Ultraviolet) Lithography, ບ່ອນທີ່ຊິບທີ່ຕິດຢູ່ໃນລະດັບ nanometer.
• ISO 6-8 : ໃຊ້ສໍາລັບຂັ້ນຕອນທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ຫນ້ອຍ, ເຊັ່ນ: ການດູຖູກດູແລຂອງແຕ່ລະຄົນຫຼືການຫຸ້ມຫໍ່ໃຫ້ພວກເຂົາ.
ໃນຂະນະທີ່ມາດຕະຖານ ISO ແມ່ນສາກົນ, ບາງອຸດສາຫະກໍາເພີ່ມຊັ້ນ:
• Aerospace (ອົງການ NASA) : ຕ້ອງການຈໍາກັດສ່ວນທີ່ເຂັ້ມງວດສໍາລັບຊິບໃນດາວທຽມໃນດາວທຽມຫລືບັ້ງໄຟ.
• ລົດຍົນ (ASTM) : ສຸມໃສ່ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊິບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໂຫດຮ້າຍ (ຕົວຢ່າງ: ຢູ່ພາຍໃຕ້ Hood).
ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ເວດມົນເກີດຂື້ນ:
• ການຜະລິດ Wafer : Silicon ທີ່ບໍລິສຸດແມ່ນລະລາຍ, ດຶງເຂົ້າໄປໃນສ່ວນປະກອບ, ແລະຊອຍເປັນ wafers - ທັງຫມົດໃນ cleveroms ISO 5.
• ການຖ່າຍຮູບ : ແສງສະຫວ່າງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຮູບແບບວົງຈອນພິມໃສ່ໃນລົດບັນທຸກ. ເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກຝຸ່ນດຽວສາມາດເຮັດໃຫ້ມົວ, ສະນັ້ນສິ່ງນີ້ເກີດຂື້ນໃນສະພາບແວດລ້ອມ ISO 4-5.
• Etching ແລະ PROSITIVE : ທາດອາຍແລະ Plasmas ແກະສະຫຼັກຫຼືສ້າງຊັ້ນໃນເຄື່ອງທີ່ໃຊ້ໃນລົດ. ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ຜະລິດຈາກຜະລິດຕະພັນ, ສະນັ້ນລະບົບສະຫາຍແມ່ນສໍາຄັນ.
ໂປເຊດເຊີຂອງ Smartphone ຂອງທ່ານ, SSD ຂອງຄອມພິວເຕີ້ຂອງຄອມພິວເຕີ້, ແລະ Slectwatch ຂອງ Sensor's All Sensor ທັງຫມົດເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍຄວາມສະອາດ. ຕົວຢ່າງ:
• ຊິບ 5NM ຂອງ TSMC : ໃຊ້ໃນໄອໂຟນ, ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສະອາດ ISO 4 ເພື່ອຈັດການຂະຫນາດ transistor ນ້ອຍໆ (ນ້ອຍກວ່າໄວຣັດ!).
• ລົດຂັບລົດດ້ວຍຕົນເອງ : ແກັບ Lidar: Lidar Solder ແລະຊິບທີ່ຕ້ອງການຄວາມສະອາດເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນກໍາລັງແຊກແຊງເຂົ້າໃນຄວາມແມ່ນຍໍາ.
• ຍານອະວະກາດ : ຊິບສໍາລັບດາວທຽມຕ້ອງທົນກັບອຸນຫະພູມແລະອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດ, ສະນັ້ນບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໃດໆທີ່ຫນ້າສົນໃຈ.
• ອຸປະກອນທີ່ບໍ່ສາມາດປູກໄດ້ : Pacemarkers ແລະ Pumerin Pumps ໃຊ້ microchips ທີ່ເຮັດໃນເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຊີວະພາບ.
• ເຄື່ອງມືການວິນິດໄສ : ເຄື່ອງຈັກກວດກາ: ເຄື່ອງຈັກ PCR ແລະອຸປະກອນທົດລອງໃຊ້ກັບຊິບຊິບທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຖືກຕ້ອງ.
• ແບບໂມດູນ : ແຜງສໍາເລັດຮູບທີ່ຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນເວັບໄຊທ໌, ເຫມາະສໍາລັບການຕັ້ງຄ່າຫລືລວດໄວ. ຕົວຢ່າງ: ການເລີ່ມຕົ້ນທີ່ອາດຈະໃຊ້ຫ້ອງສະອາດແບບໂມດູນ.
• Hardwall : ສ້າງຂື້ນຢ່າງຖາວອນເຂົ້າໃນສະຖານທີ່, ດ້ວຍຊີມັງຫລືແຫ້ງ. ໃຊ້ໂດຍຍັກໃຫຍ່ຄ້າຍຄື Intel ສໍາລັບການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່.
• ພື້ນ : vinyl ປະຕິບັດຫຼື epoxy ກັບຕາຫນ່າງທອງແດງ.
• ຝາຜະຫນັງ : anodized ອາລູມິນຽມຫຼືເຫຼັກແຕນເລດ, ລຽບເພື່ອປ້ອງກັນການກໍ່ສ້າງຂອງອະນຸພາກ.
• Workbenches : ເຮັດດ້ວຍເຫລັກທີ່ປອດໄພຫຼືສະແຕນເລດ, ມີສາຍໃຕ້ດິນທີ່ສ້າງຂຶ້ນ.
ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຕິດຕໍ່ຂອງມະນຸດ, ຄວາມສະອາດຫຼາຍຢ່າງໃຊ້:
• Amhs (ລະບົບການຈັດການດ້ານວັດສະດຸອັດຕະໂນມັດ) : ແຂນຫຸ່ນຍົນທີ່ຂົນສົ່ງ wafers ລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມືລະຫວ່າງເຄື່ອງມື.
• ຫຸ່ນຍົນຮ່ວມກັນ (COBOT) : ຊ່ວຍວຽກງານປະຊຸມໃນຂະນະທີ່ຍຶດຫມັ້ນໃນມາດຕະຖານທີ່ສະອາດ.
ຢູ່ດ້ານລຸ່ມຂອງຫ້ອງຮັບຄວາມສະອາດແມ່ນ ຊັ້ນ ຍ່ອຍຍ່ອຍ ທີ່ເຊື່ອງໄວ້ບ່ອນທີ່ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າຖືກຈັດເຂົ້າ:
• ນ້ໍາທີ່ປອດໄພ (UPTA) : ໃຊ້ໃນການເຮັດຄວາມສະອາດກະປ are ອງ, ບ່ອນທີ່ບໍ່ສະອາດແມ່ນບໍລິສຸດມັນເກືອບບໍ່ມີ ions ແລະສານອິນຊີ.
• ການແຈກຢາຍກ gas າຊ : ທາດອາຍຕົວທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຕົວຢ່າງ, ໄນໂຕຣເຈນ, ARGON) ຖືກທໍ່ນ້ໍາມັນ, ໃນຂະນະທີ່ອາຍແກັດສະຫາຍ.
• ລະບົບ HVAC : ຜູ້ຈັດການທາງອາກາດຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ມີວົງຈອນການກັ່ນຕອງ Wepa / Ulpa
ຄວາມປອດໄພແມ່ນບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້ຢູ່ທີ່ນີ້:
• ການສະກັດກັ້ນໄຟ : ລະບົບອາຍແກັດ Inert (ເຊັ່ນ FM200) ເພື່ອຫລີກລ້ຽງຄວາມເສຍຫາຍຂອງນ້ໍາໃຫ້ກັບອຸປະກອນ.
• ປິດສຸກເສີນ : ສໍາລັບແກ gas ສແລະພະລັງງານໃນກໍລະນີທີ່ມີການຮົ່ວໄຫຼຫຼືໄຟໄຫມ້.
ເຖິງແມ່ນວ່າມີຕົວກອງ, ອະນຸພາກສາມາດລັກລອບຜ່ານອຸປະກອນຫຼືການບໍາລຸງຮັກສາ. ການຕິດຕາມກວດກາເປັນປົກກະຕິກັບເຄື່ອງນັບເປັນປະຈໍາແລະຕົວຢ່າງ Microbial ແມ່ນຈໍາເປັນ.
ຄວາມສະອາດແມ່ນພະລັງງານ Hogs:
•ບັນຊີລະບົບ HVAC ໃນບັນຊີສໍາລັບ ~ 40% ຂອງການນໍາໃຊ້ພະລັງງານຂອງ Fab.
•ການເຮັດໃຫ້ມີແສງໄຟແລະຕົວປ່ຽນແປງ - ຕົວແປ - ແຟນສາມາດຕັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແຕ່ວ່າການລົງທືນສູງສຸດແມ່ນສູງ.
ໃນຖານະເປັນຊິບທີ່ນ້ອຍກວ່າ (ພວກເຮົາດຽວນີ້ຢູ່ທີ່ 3NM ແລະເກີນກວ່າແລະເກີນຄວາມຕ້ອງການ), ຄວາມຕ້ອງການຂອງເຄື່ອງດູດຄວາມສະອາດແຫນ້ນ. ຍົກຕົວຢ່າງ, EUV lithography ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ ISO 3 ເງື່ອນໄຂ - 10 ເທົ່າທໍາຄວາມສະອາດກ່ວາປະເພນີ ISO 5.
ສານເຄມີເຊັ່ນ: ອາຊິດ hydrofluoric (hf) ແລະອາຍແກັສ silane ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການພິທີລະວັງດ້ານຄວາມປອດໄພຢ່າງເຄັ່ງຄັດ, ລວມທັງ:
•ຕູ້ເກັບຮັກສາທີ່ມີລົມລ່ວງຫນ້າ.
•ອຸປະກອນປ້ອງກັນສ່ວນບຸກຄົນ (PPE) ເກີນຂະຫນາດ bunny ມາດຕະຖານ.
• ການຕິດຕາມທີ່ສະຫຼາດ : ອະນຸພາກຕິດຕາມແກັບສາມາດນັບ, ອຸນຫະພູມແລະສະຖານະພາບຂອງອຸປະກອນໃນເວລາຈິງ. Ai algorithms ຄາດຄະເນຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາ (ຕົວຢ່າງ: ການທົດແທນການກັ່ນຕອງກ່ອນທີ່ມັນຈະ clogs).
• ການດັດປັບແບບອັດຕະໂນມັດ : ຖ້າມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຮວງ, ປ່ຽງທີ່ເປີດໃຊ້ iot-able-uset ປັບກະແສນ້ໍາໃນນ້ໍາໃນຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ.
• ການກັ່ນຕອງ nanotechnology : ກໍາລັງພັດທະນາໄປໃສ່ກັບເຂົ້າທີ່ນ້ອຍກວ່າ (ຕ່ໍາກວ່າ microns).
• ຫນ້າດິນທໍາຄວາມສະອາດດ້ວຍຕົນເອງ : ການເຄືອບທີ່ເຮັດໃຫ້ຂີ້ຝຸ່ນຫຼືທໍາລາຍສານປົນເປື້ອນປອດສານພິດຜ່ານ Photocatalysis.
• ເຄື່ອງທໍາທີ່ບໍ່ມີຄວາມສຸກຢ່າງເຕັມທີ່ : ບໍລິສັດເຊັ່ນ Samsung ກໍາລັງທົດສອບ Fabs ທີ່ຫຸ່ນຍົນຈັດການກັບການຜະລິດ 100%, ກໍາຈັດຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຂອງມະນຸດ.
• ການພິມ 3D : ໃຊ້ໃນການສ້າງເຄື່ອງກໍານົດທີ່ກໍາຫນົດເອງຫຼືລະບາຍອາກາດທີ່ມີພື້ນທີ່ບໍ່ມີ particle.
• ຊິບແລະກົດຫມາຍວ່າດ້ວຍສຽງແລະວິທະຍາສາດສະຫະລັດ (2022) : ຈັດສັນ $ 52B ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ພາຍໃນປະເທດ, ການຂັບຂີ່ຕາມຄວາມຕ້ອງການໃຫມ່.
• ຊິບຂອງເອີຣົບປະຕິບັດ : ມີຈຸດປະສົງເພື່ອຊຸກຍູ້ການຜະລິດຊິບ EU ເປັນ 20% ຂອງຜົນຜະລິດທົ່ວໂລກໃນປີ 2030, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສະອາດຫຼາຍຮ້ອຍຄົນ.
ເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກດຽວສາມາດເຮັດໃຫ້ຕົວປ່ຽນແປງຂອງຊິບ, ນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຜະລິດຕະພັນ. ຄວາມສະອາດຮັບປະກັນວ່າມີພຽງແຕ່ ການປົນເປື້ອນ ທີ່ຄວບຄຸມ ພຽງແຕ່ (ຖ້າມີ) ມີໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ.
• ISO 5 : ອະນຸຍາດໃຫ້ເຂົ້າປະກອບ 3,520 ຫນ່ວຍ (0.5μmຫຼືນ້ອຍກວ່າ) ຕໍ່m³. ໃຊ້ສໍາລັບຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ຮູບຖ່າຍ.
• ISO 8 : ອະນຸຍາດໃຫ້ 3522,000 ສ່ວນຕໍ່M³. ເຫມາະສໍາລັບການຫຸ້ມຫໍ່ຫຼືຄວບຄຸມຄຸນະພາບ.
ໂດຍຜ່ານການເລື່ອນຂອງພື້ນເຮືອນຕ້ານ, ionizers, ແລະວັດສະດຸທີ່ປອດໄພຂອງ ESD. ແມ່ນແຕ່ເກົ້າອີ້ແລະຊັ້ນວາງຖືກອອກແບບມາເພື່ອລະລາຍສະຖຽນລະພາບ.
• ແບບໂມດູນ (ISO 8) : 50,000-200,000 ໂດລາສໍາລັບຫ້ອງນ້ອຍ (100-500 Sq.ft. ).
• Hardwall (ISO 5) : 1M-10m + ສໍາລັບ fab ຂະຫນາດໃຫຍ່, ຂື້ນກັບຂະຫນາດ, ຕົວກອງ, ແລະອັດຕະໂນມັດ.
ແມ່ນແລ້ວ, ແຕ່ມັນທ້າທາຍ. RETROFTTING ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຊ່ອງຫວ່າງການປະທັບຕາ, ຕິດຕັ້ງລະບົບ HVAC ໃຫມ່, ແລະປ່ຽນແທນເອກະສານຕ່າງໆກັບທາງເລືອກທີ່ບໍ່ໄດ້ຫຼໍ່. ເຄື່ອງທໍາຄວາມສະອາດແບບໂມດູນມັກຈະເປັນເສັ້ນທາງຍົກລະດັບທີ່ງ່າຍທີ່ສຸດ.
ບໍ່ວ່າທ່ານກໍາລັງຈະຕັດການຜະລິດຫລືເປີດຕົວແບບຊິບໃຫມ່, ການຮ່ວມມືກັບຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານພະຍາຍາມຮັບປະກັນມາດຕະຖານຂອງທ່ານ. ຈາກການຕັ້ງຄ່າແບບໂມດູນທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍລະດັບເຕັມຮູບແບບ, ການອອກແບບທີ່ຖືກຕ້ອງສາມາດປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ປັບປຸງຜົນຜະລິດ, ແລະອະນາຄົດ - ຫຼັກຖານສະແດງການດໍາເນີນງານຂອງທ່ານ.
ສໍາຫຼວດວິທີແກ້ໄຂບັນຫາທີ່ສະອາດໃນມື້ນີ້ ເພື່ອປົດລັອກຄວາມຊັດເຈນຂອງຄວາມຕ້ອງການໂຄງການ semiconductor.
ບົດຂຽນນີ້ມີແນວໂນ້ມອຸດສາຫະກໍາແບບປະສົມປະສານ, ມາດຕະຖານເຕັກນິກ, ແລະໂປແກຼມທີ່ແທ້ຈິງຂອງໂລກເພື່ອໃຫ້ຄູ່ມືທີ່ສົມບູນແບບກັບຄວາມສະອາດທີ່ສົມບູນແບບ. ໂດຍຄວາມກະຈ່າງແຈ້ງແລະຄວາມກ່ຽວຂ້ອງ, ມັນມີຈຸດປະສົງເພື່ອຮັບໃຊ້ເປັນຊັບພະຍາກອນທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ, ວິສະວະກອນແລະເຕັກໂນໂລຢີຄືກັນ.